日美联合开发球面半导体氢气传感器贸易

日本的东北大学、凸版印刷、美国BALL半导体和日本山武日前就球面SAW（表面弹性波）元件及气体传感器应用的联合开发事宜达成了协议。

上述4方准备共同开发的球面SAW传感器在直径1mm的石英球表面的一部分形成帘状电极图案的同时，还要在球面上形成只吸收特定气体的薄膜。首先将推出的产品是通过形成吸收氢气的钯（Pd）膜，进行氢气传感器的开发。该产品主要面向燃料电池领域，传感器在常温下10秒内即可检测出在0.05％～100％之间的氢气浓度。

在4方此次达成联合研究协议之前，东北大学和凸版印刷已经制造出了直径10mm的样品，并在IEEE·UFFC国际学术会议上进行了发表。在今后的直径1mm的球面氢气传感器的开发过程中，东北大学和凸版印刷将承担基础开发。制造技术方面，将把BALL半导体在美国德克萨斯州的研究设备和工程师转移到山武的藤泽工厂，进行试制开发。计划2004年度内提供测试套件。

凸版印刷认为，通过将该技术应用于传感器领域，以及信号处理元件、生物及机器人等其他领域，到2010年将会形成1000亿日元以上的市场。